Automatska kontrola temperature i vlažnosti
Temperatura i vlažnost čiste prostorije uglavnom se određuju prema zahtjevima procesa, ali pod uvjetom da su zahtjevi procesa ispunjeni, treba uzeti u obzir ljudski komfor.Sa povećanjem zahtjeva za čistoćom zraka, postoji trend da proces ima sve strože zahtjeve u pogledu temperature i vlažnosti.
Kako je preciznost obrade sve finija i finija, zahtjevi za raspon temperaturnih fluktuacija su sve manji i manji.Na primjer, u procesu izlaganja litografiji velike proizvodnje integriranih kola, razlika između koeficijenta toplinskog širenja stakla i silikonske pločice kao materijala dijafragme mora biti sve manja.Silicijumska pločica prečnika 100 μm će izazvati linearnu ekspanziju od 0,24 μm kada temperatura poraste za 1 stepen.Zbog toga mora imati konstantnu temperaturu od ±0,1 stepeni.Istovremeno, vrijednost vlažnosti općenito je potrebna da bude niska, jer nakon što se osoba znoji, proizvod će biti zagađen, posebno Za radionice poluprovodnika koje se boje natrijuma, ovakva čista radionica ne bi trebala prelaziti 25 stepeni.
Prekomjerna vlaga uzrokuje više problema.Kada relativna vlažnost pređe 55%, doći će do kondenzacije na zidu cevi za rashladnu vodu.Ako se to dogodi u preciznom uređaju ili strujnom kolu, to će uzrokovati razne nesreće.Lako je zarđati kada je relativna vlažnost 50%.Osim toga, kada je vlažnost previsoka, prašina na površini silikonske pločice će se kemijski adsorbirati od strane molekula vode u zraku na površinu, što je teško ukloniti.Što je veća relativna vlažnost, teže je ukloniti adheziju, ali kada je relativna vlažnost niža od 30% čestice se takođe lako adsorbuju na površini usled delovanja elektrostatičke sile, a i velikog broja poluprovodnika. uređaji su skloni kvaru.Najbolji temperaturni raspon za proizvodnju silikonskih pločica je 35~45%.
